光學(xué)濾光片與鍍膜

需要增透減反技術(shù)可以聯(lián)系我們上海工廠18917106313

上海卷柔新技術(shù)光電有限公司是一家專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)光學(xué)儀器及其零配件的高科技企業(yè)，公司2005年成立在上海閔行零號灣創(chuàng)業(yè)園區(qū)，專業(yè)的光電鍍膜公司，技術(shù)背景依托中國科學(xué)院，卷柔產(chǎn)品主要涉及光學(xué)儀器及其零配件的研發(fā)和加工；光學(xué)透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監(jiān)控等光學(xué)鍍膜產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，為全球客戶提供上等的產(chǎn)品和服務(wù)。

什么是減反射（Anti-reflective)

減反射（AR，anti-reflective），就是減少反射光，反光少了，說明透過的光多了，所以減反射又叫增透。

下面的圖中，做過減反射處理的（右），只反射了2%的光，也就是說它的透過率是98%。

增透膜（Anti-reflective coating，AR）是一種表面光學(xué)鍍層，通過減少光的反射而增加透過率。在復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)中，可以通過減少系統(tǒng)中的散射光來提高對比度，例如望遠(yuǎn)鏡，這對天文學(xué)十分重要。增透膜能減少暗處雙筒望遠(yuǎn)鏡的閃光。

很多涂層都包括折射率不同的透明的薄膜結(jié)構(gòu)thin film structures with alternating layers of contrasting. 薄膜的厚度決定了其作用的反射光波長。當(dāng)光線在增透膜上產(chǎn)生二次反射時(shí)，會(huì)和原反射光發(fā)生干涉，從而減弱反射光。而根據(jù)能量守恒，光的能量不變。當(dāng)反射光減少時(shí)，透射光便增多。這就是增透膜的原理。選擇增透膜時(shí)需確定波長，如紅外線，可見光以及紫外線。

沒有鍍膜的眼鏡鏡片（上方）比鍍上增透模的眼鏡鏡片反射更多光波。特別注意到鍍膜的眼鏡鏡片的反射帶有些許顏色。

濾光片

濾光片產(chǎn)品主要按光譜波段、光譜特性、膜層材料、應(yīng)用特點(diǎn)等方式分類。

光譜波段：紫外濾光片、可見濾光片、紅外濾光片；

光譜特性：帶通濾光片、截止濾光片、分光濾光片、中性密度濾光片、反射濾光片；

膜層材料：軟膜濾光片、硬膜濾光片；

硬膜濾光片不僅指薄膜硬度方面，更重要的是它的激光損傷閾值，所以它廣泛應(yīng)用于激光系統(tǒng)當(dāng)中，面軟膜濾光片則主要用于生化分析儀當(dāng)中。

帶通型：選定波段的光通過，通帶以外的光截止。其光學(xué)指標(biāo)主要是中心波長（CWL），半帶寬（FWHM)。分為窄帶和寬帶。比如窄帶808濾光片NBF-808。

短波通型(又叫低波通)：短于選定波長的光通過，長于該波長的光截止。比如紅外截止濾光片，IBG-650。

長波通型(又叫高波通)：長于選定波長的光通過，短于該波長的光截止 比如紅外透過濾光片，IPG-800。

濾光片鍍膜

蒸發(fā)沉積

在蒸發(fā)沉積時(shí)，真空室中的源材料受到加熱或電子束轟擊而蒸發(fā)。蒸氣冷凝在光學(xué)表面上。在蒸發(fā)期間，通過控制加熱，真空壓力，基板定位和旋轉(zhuǎn)可以制造出具有特定厚度的均勻光學(xué)鍍膜。蒸發(fā)具有相對溫和的性質(zhì)，會(huì)使鍍膜變得松散或多孔。這種松散的鍍膜具有吸水性，改變了膜層的有效折射率，將導(dǎo)致性能降低。通過離子束輔助沉積技術(shù)可以增強(qiáng)蒸發(fā)鍍膜，在該過程中，離子束會(huì)對準(zhǔn)基片表面。這增加了源材料相對光學(xué)表面的粘附性，產(chǎn)生更多應(yīng)力，使得鍍膜更致密，更耐久。

離子束濺射（IBS）

在離子束濺射（IBS）時(shí)，高能電場可以加速離子束。這種加速度使得離子具有顯著的動(dòng)能。在與源材料撞擊時(shí)，離子束會(huì)將靶材的原子“濺射”出來。這些被濺射出來的靶材離子（原子受電離區(qū)影響變?yōu)殡x子）也具有動(dòng)能，會(huì)在與光學(xué)表面接觸時(shí)產(chǎn)生致密的膜。IBS是一種的，重復(fù)性強(qiáng)的技術(shù)。

等離子體濺射

等離子體濺射是一系列技術(shù)的總稱，例如等離子體濺射和磁控管濺射。不管是哪種技術(shù)，都包括等離子體的產(chǎn)生。等離子體中的離子經(jīng)加速射入源材料中，撞擊松散的能量源離子，然后濺射到目標(biāo)光學(xué)元件上。雖然不同類型的等離子體濺射具有其獨(dú)特的性質(zhì)和優(yōu)缺點(diǎn)，不過可以將這些技術(shù)集合在一起，因?yàn)榫哂泄餐墓ぷ髟?，差異，相比這種鍍膜技術(shù)與本文中涉及的其它鍍膜技術(shù)之間的差異小得多。

原子層沉積

與蒸發(fā)沉積不同，用于原子層沉積（ALD）的源材料不需要從固體中蒸發(fā)出來，而是直接以氣體的形式存在。盡管該技術(shù)使用的是氣體，真空室中仍然需要很高的溫度。在ALD過程中，氣相前驅(qū)體通過非重疊式的脈沖進(jìn)行傳遞，且脈沖具有自限制性。這種工藝擁有獨(dú)特的化學(xué)性設(shè)計(jì)，每個(gè)脈沖只粘附一層，并且對光學(xué)件表面的幾何形狀沒有特殊要求。因此這種工藝使得可以高度的對鍍層厚度和設(shè)計(jì)進(jìn)行控制，但是會(huì)降低沉積的速率。

鍍膜工藝

不同的鍍膜沉積技術(shù)，具有各自的優(yōu)缺點(diǎn)。光學(xué)可以采用不同的鍍膜沉積技術(shù)為服務(wù)。

在很小的硅襯底上，出現(xiàn)了薄膜顏色的變化，有時(shí)很嚴(yán)重（多種顏色），有時(shí)兩種顏色，有顏色的梯度，什么原因?。?

顏色變化是由于薄膜厚度不均勻?qū)е虏煌潭鹊?span id="1frbnxzddd" class="wx_search_keyword_wrap">光干涉引起的。這種不均勻是purge不充分造成的，或者是precursor通多了。應(yīng)該考慮一下硅片清洗的干凈不干凈。機(jī)器沒有改動(dòng)的話程序和劑量都是固定的。每次都是在相同的地方出現(xiàn)厚度的差異，感覺像是有一個(gè)通多了啊，tdeah這種源你們都是怎么設(shè)置的啊，比如溫度，pulse和purge時(shí)間。都是根據(jù)系統(tǒng)得計(jì)算的，沒有系統(tǒng)圖和參數(shù)，明顯已經(jīng)出了可估測的范文。

ALD的一大驗(yàn)收指標(biāo)就是膜厚均一性（5英寸的Si上）。

首先膜厚大概有多少，再?zèng)Q定用什么儀器去測量膜厚（多點(diǎn)測量）。

ALD做的其它薄膜，也出現(xiàn)了局部的不均勻現(xiàn)象比如只有半環(huán)狀，或者一部分區(qū)域有薄膜的現(xiàn)象。

現(xiàn)代微處理器內(nèi)的晶體管非常微小，晶體管中的一些關(guān)鍵薄膜層甚至只有幾個(gè)原子的厚度，光是英文句點(diǎn)的大小就夠容納一百萬個(gè)晶體管還綽綽有余。ALD 是使這些極細(xì)微結(jié)構(gòu)越來越普遍的一種技術(shù)。

ALD 工藝直接在芯片表面堆積材料，一次沉積單層薄膜幾分之一的厚度，以盡可能生成*薄、*均勻的薄膜。工藝的自限特性以及共形沉積的相關(guān)能力，是其成為微縮與 3D 技術(shù)推動(dòng)因素的基礎(chǔ)。自限式表面反應(yīng)讓原子級沉積控制成為可能：薄膜厚度僅取決于執(zhí)行的反應(yīng)周期數(shù)。表面控制會(huì)使薄膜保持**的共形性和均勻厚度，這兩點(diǎn)是新興 3D 器件設(shè)計(jì)的必備特性。

ar玻璃

1）可見光透過率*高峰值99%可見光平均透過率超過95%，

2） 平均反射率低于4%，*低值小于0.5%

3）色彩更艷麗、對比更強(qiáng)使圖像色彩對比更強(qiáng)烈，景物更清晰。

4）抗紫外線，有效保護(hù)眼睛紫外線光譜區(qū)透過率大幅降低，可有效阻絕紫外線對眼睛之傷害

5） 耐高溫AR玻璃耐溫>500度(一般壓克力只能耐溫80度)

6）防刮耐磨性*佳AR玻璃膜層硬度與玻璃相當(dāng),大于7H，（一般PC板硬度約為2H至3H）。

7）可耐各種清潔劑清洗耐酸、堿清洗劑之擦拭，膜層不受損壞。

8）抗沖擊性強(qiáng)3mm厚度玻璃的沖擊性能相當(dāng)于6mm壓克力。

9）保持視角一般壓克力在安裝后，視角會(huì)變??；而AR玻璃裝上后，視角不會(huì)變小。

10）外觀AR玻璃表面平整度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于鍍膜壓克力，并且尺寸越大，相差越明顯。

11）AR玻璃冷熱變形幾乎可以省略不計(jì)，適用于各類環(huán)境；同時(shí)，AR玻璃具有琉璃感，外觀更漂亮。

比超白透光率還高的ar玻璃

普通的白玻透光率一般在82-83%左右。

超白玻璃透光率一般在89-91%，個(gè)別廠家生產(chǎn)的超白玻璃透過率甚至可以達(dá)到92%。

AR玻璃的透不率達(dá)到了95%，甚至有的AR玻璃可見光透過率*高峰值達(dá)到了99%。

關(guān)于我們

上海卷柔新技術(shù)光電有限公司是一家專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)光學(xué)儀器及其零配件的高科技企業(yè)，公司2005年成立在上海閔行零號灣創(chuàng)業(yè)園區(qū)，專業(yè)的光電鍍膜公司，技術(shù)背景依托中國科學(xué)院，卷柔產(chǎn)品主要涉及光學(xué)儀器及其零配件的研發(fā)和加工；光學(xué)透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監(jiān)控等光學(xué)鍍膜產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，為全球客戶提供上等的產(chǎn)品和服務(wù)。

  卷柔減反射(AR)玻璃的特點(diǎn):高透,膜層無色,膜硬度高,抗老化性強(qiáng)(耐候性強(qiáng)于玻璃),玻璃長期使用存放不發(fā)霉,且有一定的自潔效果.AR增透減反膜玻璃產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于**文博展示、低反射幕墻、廣告機(jī)玻璃、節(jié)能燈具蓋板玻璃、液晶顯示器保護(hù)玻璃等多行業(yè)。
    我們的愿景：卷柔讓光學(xué)更具價(jià)值！
    我們的使命：有光的地方就有卷柔新技術(shù)！
    我們的目標(biāo)：以高質(zhì)量的產(chǎn)品，優(yōu)惠的價(jià)格,貼心的服務(wù)，為客戶提供優(yōu)良的解決方案。
    上海卷柔科技以現(xiàn)代鍍膜技術(shù)為核心驅(qū)動(dòng)力，通過鍍膜設(shè)備、鍍膜加工、光學(xué)鍍膜產(chǎn)品服務(wù)于客戶，努力為客戶創(chuàng)造新的利潤空間和競爭優(yōu)勢，為中國的民族制造業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。